Trillingsmetingen volgens SBR Richtlijn C Storing aan Apparatuur

Trillingsmetingen SBR C

De meet- en beoordelingsrichtlijn C "Storing aan apparatuur" geeft een procedure voor het meten en beoordelen van trillingen met betrekking tot trillingsgevoelige apparatuur. Denk daarbij ondermeer aan:

  • Optische apparatuur zoals massaspectrometers
  • Apparatuur voor CD fabricage
  • Main frames van datacentra
  • Oog laser apparatuur
  • Weeg instrumenten
  • Drukkerij apparatuur (paspoorten etc.)

De AuroVibe verricht volledig automatisch de trillingen en kunnen direct on-line worden getoetst aan de eisen van de fabrikant of de BBN-criteria (Bolt, Beranek and Newman) en FHA-criteria (Frank Hubach Associates).

SBR Richtlijn B (storing / schade aan apparatuur door trillingen)
Indeling en criteria volgens  Bolt, Beranek and Newman Inc  
Type apparatuur of gebruik Veff µm/s*)
Woningen; computersystemen 200,00
Operatiekamers; microscopen met een vergroting tot 100 x 100.00
Microscopen met een vergroting tot 400 x, optische en andere precisie-balansen;plaatsbepalingsapparatuur; metrologische laboratorium-ruimten; optische comparatoren; fabricage-apparatuur voor micro-electronica (class A) 50,00
Micro-chirurgie, oog- en zenuw-operaties; microscopen met een vergroting meer dan 400 x;optische apparatuur op geïsoleerde opstellingen; fabricage-apparatuur voor micro-electronica (class B)   25.00
Electronenmicroscopen met vergrotingen tot 30.000 x; microtomes, magnetic resonance imagers; fabricage-apparatuur voor micro-electronica (class C) 12.50
Electronenmicroscopen met vergrotingen meer dan 30.000 x; massa-spectrometers; cell implant equipment; fabricage-apparatuur voor micro-electronica (class D) 6.25
Niet geïsoleerde laser / optische onderzoeksystemen; fabricageapparatuur voor micro-electronica (class E) 3.15
*) In het frequentiegebied van 8 tot 80Hz per terts.  
Class Apparatuur Class
Inspection, probe test en andere ondersteunende apparatuur bij de fabricage A
Aligners, steppers en andere kritische apparatuur voor fotolithografie met lijnbreedte van 3um of meer B
Aligners, steppers en andere kritische apparatuur voor fotolithografie met lijnbreedte van 1um of meer C
Aligners, steppers en andere kritische apparatuur voor fotolithografie met lijnbreedten van 0,5um,alsmede E-beam apparatuur D
Aligners, steppers en andere kritische apparatuur voor fotolithografie met lijnbreedten van 0,25um alsmede E-beam apparatuur E